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氬氣是目前工業(yè)上應(yīng)用很廣的稀有氣體。它的性質(zhì)**不活潑,既不能燃燒,也不助燃。在飛機制造、造船、原子能工業(yè)和機械工業(yè)部門,對特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。現(xiàn)在由小編為大家介紹關(guān)于氬氣的特殊用途,希望對你有所幫助。
高純氬氣主要用途:用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣,為了提高硅晶體的質(zhì)量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。由于一般液氬氣化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩(wěn)定的氬氣對生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。
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